潔凈是在一定空間內(nèi)消除空氣中的顆粒物、有害空氣、細(xì)菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲和振動(dòng)、照明和靜電控制在一定需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化院專門設(shè)計(jì)的房間，無論外界空氣條件如何變化，都具有保持原設(shè)定要求的潔凈度、溫度、濕度和壓力的功能。
控制產(chǎn)品(如硅片等)所處環(huán)境的清潔度、溫度和濕度。)聯(lián)系，使產(chǎn)品能在良好的環(huán)境下生產(chǎn)制造。這個(gè)空間的設(shè)計(jì)和建造過程可以稱為凈化工程。
湍流
空氣從空調(diào)箱通過潔凈室的風(fēng)管和空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，經(jīng)潔凈室兩側(cè)的隔墻或高架地板返回。氣流以非線性方式運(yùn)動(dòng)，并處于不規(guī)則的湍流或渦流狀態(tài)。該類型適用于1000-100000級(jí)潔凈室。
優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，系統(tǒng)建設(shè)成本低，潔凈室易于擴(kuò)展。在一些特殊用途的場(chǎng)所，可以配合潔凈室車間使用，提高潔凈室等級(jí)。
缺點(diǎn)：湍流產(chǎn)生的塵粒漂浮在室內(nèi)空間，不易排出，容易污染工藝產(chǎn)品。此外，如果系統(tǒng)在關(guān)閉后重新啟動(dòng)，通常需要很長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到所需的清潔度。
層流
層流氣流運(yùn)動(dòng)成平均直線，空氣通過100%覆蓋的過濾器進(jìn)入室內(nèi)，由兩側(cè)高架地板或隔墻板返回。這種類型適用于潔凈室等級(jí)要求高的環(huán)境。一般潔凈室級(jí)別為1~100級(jí)。它可以分為兩種類型：
(1)水平層流：水平空氣從過濾器向一個(gè)方向吹出，由對(duì)面墻上的回風(fēng)系統(tǒng)送回。灰塵隨風(fēng)排放到外面。一般來說，下游污染嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可在術(shù)后短時(shí)間內(nèi)變得不整潔。
缺點(diǎn)：建設(shè)成本比紊流高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)展。
(2)垂直層流：房間天花板全覆蓋ULPA過濾籠，空氣自上而下吹，可獲得更高的潔凈度，將過程中或工作人員產(chǎn)生的粉塵快速排出室外，不影響其他工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn)：易于管理，術(shù)后短時(shí)間內(nèi)可達(dá)到無紊亂狀態(tài)，不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員影響。
缺點(diǎn)：結(jié)構(gòu)造價(jià)高，空間靈活利用困難，吊頂?shù)牡跫馨幢壤加每臻g，維修更換濾網(wǎng)麻煩。
復(fù)合類型：
復(fù)合型是湍流和層流的結(jié)合或組合，可以提供局部超凈空氣。
(1)潔凈隧道：工藝區(qū)或工作區(qū)100%籠蓋HEPA或ULPA過濾器，可將潔凈度提高到10級(jí)以上，節(jié)省安裝和運(yùn)行費(fèi)用。在這種類型中，作業(yè)人員的工作區(qū)域應(yīng)與產(chǎn)品和機(jī)器維修隔離，以避免在機(jī)器維修期間影響工作和質(zhì)量。這種類型多用于ULSI工藝。
干凈的隧道還有另外兩個(gè)優(yōu)點(diǎn)：a .靈活擴(kuò)展容易；b .設(shè)備維修可以在維修區(qū)隨便進(jìn)行。
(2)潔凈管：產(chǎn)品流經(jīng)過的自動(dòng)化生產(chǎn)線被旁通凈化，潔凈度等級(jí)提升到100以上。由于產(chǎn)品與作業(yè)人員和多塵環(huán)境隔離，少量送風(fēng)即可達(dá)到良好的潔凈度，節(jié)約能源，不需要人工操作的自動(dòng)化生產(chǎn)線最適合使用。醫(yī)藥，食品工業(yè)，半導(dǎo)體工業(yè)都是一起用的。
(3)局部清潔點(diǎn)并聯(lián)安裝：潔凈室級(jí)別為10000 ~ 100000的湍流潔凈室中產(chǎn)品工藝區(qū)潔凈度級(jí)別提高到10 ~ 1000或以上，考慮用于生產(chǎn)；潔凈工作臺(tái)、潔凈工棚、潔凈空氣柜都屬于這一類。
