潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)一直是潔凈室設(shè)計(jì)中關(guān)注的問(wèn)題。隨著潔凈室污染源控制效果和最終過(guò)濾器效率的提高，關(guān)于相關(guān)規(guī)范和導(dǎo)則的推薦值或參考值是否偏于保守的討論已有很多。FFU在應(yīng)用中人們所擔(dān)心的噪音、損壞、維護(hù)等問(wèn)題在實(shí)踐中得到了解決。隨著FFU的不斷提高，是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是一個(gè)熱點(diǎn)：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子和IC行業(yè)已經(jīng)越來(lái)越被提上日程并受到關(guān)注。以下是對(duì)這些問(wèn)題的總結(jié)和分析。
在具有一定潔凈度的潔凈室中，氣流速度的確定隨著潔凈室的使用而變化。它不僅受室內(nèi)粉塵排放和過(guò)濾效率的影響，還受其他因素的影響。就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度和氣流速度選擇的主要因素有：
(1)室內(nèi)污染源：建筑構(gòu)件、人員數(shù)量和操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料和工藝本身都是塵粒釋放的來(lái)源，根據(jù)具體情況變化較大；
(2)室內(nèi)氣流形態(tài)和分布：?jiǎn)蜗蛄鲃?dòng)要求流線均勻、均等，但會(huì)受到工藝設(shè)備的布置和位置變化、人員活動(dòng)等因素的干擾。形成局部渦流；非單向流動(dòng)需要填充和混合，以避免死角和溫度分層。
