按照國際慣例，無塵凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中直徑大于分類標準的顆粒物數(shù)量來定義的。也就是說，所謂無塵并不是100%無塵，而是控制在一個非常小的單元內(nèi)。當然，這個標準中符合粉塵標準的顆粒相對于我們常見的粉塵來說是非常微小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以無塵是光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)的必然要求。
如果每立方米小于0.5微米的塵粒數(shù)控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應(yīng)用于芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對粉塵的要求比A級更高，這樣的高標準主要應(yīng)用于一些更高級別的芯片的生產(chǎn)。細粉塵量嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
